目前，我國
壓力傳感器產業規模小，應用範圍窄。因此，我們迫切需要轉變觀念，將傳感器的研發從單一傳感器的研發轉變為高度集成的新型傳感器的研發。新型傳感器的開發和應用已成為現代系統的核心和關鍵。它將成為21世紀信息產業新的經濟增長點。改革開放30年來，我國傳感器技術及其產業取得了長足進步，主要體現在建立了**傳感技術重點實驗室、微米納米**重點實驗室、**傳感技術工程中心等研發基地；MEMS、MOEMS（微光機電系統）等研究項目被列為**高科技發展重點；在“九五”科技攻關項目中，傳感器技術研究取得51個品種、86個規格的新產品成果，敏感元件和傳感器產業初步建立；2007年，傳感器產業總產值達到20.93億元，近6000個品種和規格，已應用於國民經濟和國防建設的各個部門
中國將傳感器列為20世紀80年代末**高科技發展的重點。經過“八五”、“九五”和“十五”攻關和產業化建設，目前我國從事傳感器研究、生產和應用的企事業單位已超過2000家。由於經濟發展水平和生產研發資金的限制，我國傳感器產業整體技術水平相對落後，規模和應用領域較小。如今，活躍在國際市場上的企業仍然是德國、日本、美國和俄羅斯等老工業**企業。在這些產品中，傳感器的應用範圍非常**，許多製造商已經實現了大規模生產。一些企業的年生產能力已達數千萬甚至數億。相比之下，中國傳感器的應用範圍較窄，更多的應用仍停留在工業測量和控制等基礎應用領域
壓力傳感器的發展歷史；1945年，史密斯發現了硅和鍺的壓阻效應，即當外力作用於半導體材料時，它的阻力將發生顯著變化。根據這一原理，壓力傳感器是通過將應變電阻粘貼在金屬膜上製成的，即將力信號轉換為電信號進行測量。隨著材料技術、微機械技術和微電子技術的發展，世界各國在壓力傳感器技術領域開展了許多探索性的研究工作，研究成果已積極投入商業領域。
在研究中，遵循了傳統的作用原理和一些新的效應，優選了晶體材料（硅、石英、陶瓷等），採用了微加工技術和微電子技術，從傳統的結構設計到微加工工藝的微觀結構設計，取得了顯著的成果，壓力傳感器技術有了很大的發展以下重點介紹了幾種有代表性的壓力傳感器的工作原理、性能特點和新的傳感器技術。其中，電容式壓力傳感器是目前應用**的傳感器
應變式壓力傳感器；應變式壓力傳感器基於金屬應變片電阻值隨應力變形的原理工作。早期的應變計是由金屬材料製成的，粘貼在壓力膜片上以檢測壓力變化。該傳感器具有體積小、靈敏度低等優點。應變計通常用膠水粘貼在彈性體上，但隨著時間的推移，膠水的老化會對傳感器的性能產生明顯的影響，因此沒有得到**應用
硅壓阻式壓力傳感器；半導體材料的靈敏度比金屬材料高幾十倍，這是由半導體材料的壓阻特性決定的。半導體材料的壓阻特性還取決於摻雜濃度和晶體的排列方向。硅材料具有優良的強度和機械特性，具有過電壓能力強、滯後小的優點。硅膜片的使用可以顯著提高傳感器的動態響應性能，並降低對加速度的敏感性。
硅壓阻式壓力傳感器克服了應變式壓力傳感器的許多缺點。在壓力傳感器技術方面，它在人類科學史上又邁出了一大步。不鏽鋼膜片硅壓阻式壓力傳感器是一種新型的硅壓阻式壓力傳感器。其壓力應變膜片為硅應變膜片，其製造工藝為集成電路和微機械加工工藝。不鏽鋼膜片、充液膜片和硅應變膜片的有機結合，使傳感器具有高精度、高可靠性、高穩定性和良好的動態性能。它不僅可用於普通氣體和液體的壓力測量，也可用於腐蝕性介質的壓力測量
陶瓷壓力傳感器；耐腐蝕陶瓷壓力傳感器無液體傳輸。壓力直接作用於陶瓷膜片的前表面，導致膜片輕微變形。厚膜電阻器印制在陶瓷膜片的背面，並連接到惠斯通電橋（閉橋）。由於變阻器的壓阻效應，電橋產生與壓力成比例且與激勵電壓成比例的高度線性電壓信號，標準信號根據不同的壓力範圍校准為2.03.03.3 MVV，可與應變傳感器兼容。
通過激光標定，傳感器具有較高的溫度穩定性和時間穩定性。傳感器自身的溫度補償為0~70℃，可與大多數介質直接接觸陶瓷是公認的高彈性、耐腐蝕、耐磨、耐衝擊和耐振動材料。陶瓷的熱穩定性及其厚膜電阻可使其工作溫度範圍高達-40~135℃，具有較高的精度和穩定性。電氣絕緣度>2KV，輸出信號強，長期穩定性好。高性能、低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發展方向，
電容式壓力傳感器；電容式壓力傳感器的工作原理是：電容板的相對位置會隨著壓力的變化而變化，從而導致電容的變化。可以通過檢測電路測量電容來測量壓力。電容式壓力傳感器屬於極距變化電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器
單電容式壓力傳感器；由圓形薄膜和固定電極組成。薄膜在壓力作用下變形，從而改變電容器的容量。它的靈敏度大致與膜的面積和壓力成正比，與膜的張力和膜到固定電極的距離成反比。這種類型可以減少膜片的直接壓力面積，因此可以使用更薄的膜片來提高靈敏度。它還配有各種補償保護元件和放大電路，以提高抗干擾能力。該傳感器適用於測量動態高壓和遙測飛機（2）差動電容式壓力傳感器
其壓力膜片電極位於兩個固定電極之間，形成兩個電容器。在壓力的作用下，一個電容器的容量增大，另一個電容器的容量相應減小。它的固定電極是在凹面玻璃表面鍍上一層金屬。如果過載，隔膜由凹面保護，不會破裂。差動電容式壓力傳感器比單一電容式壓力傳感器具有更高的靈敏度和更好的線性度
早期的電容式壓力傳感器採用金屬敏感元件作為活動板，體積大，成本高。近幾十年來，隨著微加工技術和集成電路技術的發展，出現了代表**技術的微硅電容式集成傳感器。目前已**應用於化工、石油、醫藥、農業等主要行業。
電容式真空壓力傳感器。電容式壓力傳感器由基板和厚度為0.8~2.8的氧化鋁（Al2O3）通過自熔焊環焊接而成。該環具有隔離功能，不需要溫度補償，能保持長期測量的可靠性和持久精度。測量方法採用電容原理。基板上的一個電容CP 位於位移較大*的膜片中心，另一個參考電容Cr位於膜片邊緣。因為邊緣很難產生位移，所以電容值不變。
CP 的變化與施加壓力的變化有關，隔膜的位移和壓力之間呈線性關係。在過載的情況下，膜片連接到基板時不會損壞。當沒有負載時，它將立即返回到原始位置，沒有任何延遲。過載可達****。即使它被損壞，也不會洩漏任何污染介質。新型接觸式電容式壓力傳感器具有線性度好、靈敏度高、過載保護能力強等優點。為了獲得更好的性能，設計並開發了一種新型接觸式電容式壓力傳感器（DTMCPS）。這種新結構在傳統TMCP的底部電極上刻蝕了一個淺槽，可以更好地實現線性和更寬的線性範圍
MEMS硅薄膜電容式氣象壓力傳感器；然後通過KOH各向異性腐蝕和深度腐蝕形成硅膜。它是一種高性能、低成本的微型電容式氣象壓力傳感器，能夠準確測量氣象相關數據；目前，蘭州石化公司新建項目（60萬噸年大型乙烯、8萬噸丙烯酸、11萬噸丙烯酸裝置）的大部分壓力測量儀表均採用電容式壓力傳感器。電容式壓力變送器。
如3051系列，適用於大型乙烯C4萃取丁烯和汽油加氫裝置的所有壓力測量儀表；大乙烯聚丙烯裝置各單元壓力測量儀表選用橫河電容式壓力傳感器，如eja110430系列；丙烯酸100#氧化裝置的壓力測量儀表採用電容式壓力傳感器，如7mf40334433系列。上述電容式壓力變送器的精度可達±0.075%，12個月內的穩定性為*大量程的±0.1%，而普通壓力變送器的精度為±0.2%，12個月內的穩定性為*大量程的±0.2%。該電容式壓力變送器線性好，功耗低，使用壽命長。電容式壓力傳感器應用**，受環境溫度、介質等因素的影響較小，這也是電容式壓力傳感器在化工行業得到**應用的原因之一。它們還可以滿足設計要求，在一定程度上保證高性價比的要求，節省工程成本
此外，還有許多新的
壓力傳感器。這些壓力傳感器不僅在技術參數上取得了很大的進步，而且它們的出現使壓力傳感器的應用範圍更加**。例如，光纖壓力傳感器可以檢測非常小的壓力。因此，在臨床醫學中經常使用測量擴張冠狀動脈導管球囊內的壓力；根據熱驅動原理，實現了具有自檢功能的壓力傳感器的自檢功能。傳感器尺寸為1.2mm×3mm×0.5mm，適用於生物醫學領域；SOI高溫壓力傳感器是一種新型傳感器，具有耐高溫、耐輻射、穩定性好等優點。可以解決航空、航天等領域對高溫壓力傳感器的迫切需求
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